上海伯东 涡轮分子泵 HiPace 2300

对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
运行数据监控形成的运行安全性
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统

 型号

HiPace 2300 TC 1200
DN 250 ISO-K

HiPace 2300 TC 1200
DN 250 ISO-F

HiPace 2300 TC 1200
DN 250 CF-F

 Ar 压缩比

>1X10⁸

>1X10⁸

>1X10⁸

 H₂ 压缩比

2X10⁴

2X10⁴

2X10⁴

 He 压缩比

3X10⁵

3X10⁵

3X10⁵

 N₂  压缩比

>1X10⁸

>1X10⁸

>1X10⁸

最大预抽真空, N₂ hPa

1.8

1.8

1.8

 Ar全转速时气体流量hPa l/s

16

16

8

 H₂ 全转速时气体流量hPa l/s

>50

>50

30

 H_e全转速时气体流量hPa l/s

>30

>30

16

 N₂ 全转速时气体流量hPa l/s

28

28

11

 操作电压 V AC

90-265

90-265

90-265

最大电流 A

10

10

10

 允许最大磁场 mT

7

7

7

 Ar抽速l/s

1800

1800

1800

 H₂ 抽速l/s

1850

1850

1850

 H_e 抽速 l/s

2000

2000

2000

 N₂ 抽速l/s

1900

1900

1900

 转速 ± 2 % rpm

31500

31500

31500

 启动时间 min

4

4

4

 极限真空 hPa

1X10-7

1X10-7

5X10-10

 重量 kg

35.5

36.6

51.8